抛光有粗抛和精抛，粗抛主要利用化学机械抛光等传统抛光方式进行抛亮，去除毛面，粗略控制元件表面面型到精抛入门级精度范围内，精抛主要是指工件光学修形，根据工件技术要求，选择不同修形抛光技术，加工至指定精度内，一般来说有小磨头抛光修形技术、磁流变抛光修形技术、离子束抛光修形技术等。