徐州博康的arf光刻胶进度

公司重要参股公司徐州博康作为国内领先的 IC 光刻胶与光刻材料公司， 2022
年以来在光刻胶相关的技术与工艺环节突破不断，也得到了下游客户的认可，有多款
高端光刻胶产品分别获得了国内 12 寸晶圆厂的相关订单，包括 ArF-immersion 产品
及 ArF-dry， KrF， I-line 等。其中， ArF-immersion 产品已经适用于 28-45nm 制
程。具体分品类来看：
（1）ArF 光刻胶有 26 款产品，其中 ArF-immersion15 款， ArF-dry 11 款，
可应用于 14-90nm 制程节点；有 9 款 ArF-immersion 及 ArF-dry 光刻胶正在客户
端进行产品验证导入量产，品种类涵盖 55nm、 40nm、 28nm 及以下的 LOGIC 关
键层工艺 以及 3D NAND，DRAM 等应用领域。2022 年以来形成销售的 Arf 光刻
胶有 5 款。
9款 arf导入验证的光刻胶，5款通过验证。