上微新干式双工件台光刻机于4月份已在ICRD验证，7月底调试结束。目前已新增两台Arf干式光刻机。其中，调试期间就已经在生产，一天8小时生产20片左右。另外，Arfi浸润式光刻机也已经进入调试，今年底上大生产线。

65跟28之间应该还有45NM把

楼主说的对，2021年的确交不了了，事实是2022年也无法量产（28nm级的DUV光刻机，即SSA800）。但是，到了2023年夏季，SSA800终于可以开始量产了。SSA800对于中国光刻机领域的意义就像涡扇10对于中国飞机发动机领域的意义一样，虽然研制时间比预期的要长，但是一旦研制成功。在飞机发动机领域，美西方就再无可能卡脖子了。美国在C919上不卡中国发动机的脖子，你以为它不想？你以为它发善心？非也，而是它不能也。

涡扇10飞机发动机和SSA800光刻机绝对是可以载入中国科技发展史册的两项工程。

已经交了

华卓，呵呵呵，他们就是买买买，现在人家不卖了，他能做啥

现在还没有全国产28nm的全套技术

28nm级的DUV光刻机 SSA800 进度到底咋样了， 留给我们的时间不多了