Failure Analysis (FA)失效分析范围广泛涵,盖各种材料分析,在半导体界一般更多的是Electronics Failure Analysis (EFA)
Destructive Physical Analysis (DPA) 破坏性物理分析,对分析对象进行不可逆破坏的描述。
DPA包括手段:切片Cross Section ,TEM样品制备,SEM样品制备, laser or chemically decapsulated激光或化学开封(Delidding),取Dices。
业界常用设备:
Scanning Electron Microscopy (SEM,扫描电镜)
X-radiography (x-ray,x光,CT)
Energy Dispersive X-Ray Analysis (EDS,能谱仪)
键合拉力测试机,剪切力测试机。
激光开封机,化学开封机,
前景:一般的公司在这方面开销都是上亿的…………