首先准备H2O/H2O2（如果是H2O需先氧化生成H2O2）。随后H2O2在233摄氏度高压（2个标准大气压）环境下与O3氧化生成H2O3。生成H2O3之后应升高温度（478摄氏度），并且加压（3个标准大气压），并加入HO2与O3使H2O3被氧化生成H2O4。生成H2O4后加入O4与HO3以及HO2，升温升至666摄氏度，通电222V，加压（4个标准大气压）生成H2O5。