金刚石切割片项目获省科技进步一等奖来源:
www.zzzhgj.com 郑州钻皇金刚石工具有限公司对金刚石切割片项目获省科技进步一等奖有特殊的见解 因为激光划片时熔融的硅会在芯片边缘翻转堆砌,给引线键合带来坚苦,是以,今朝硅集成电路加工已不用此法,故今朝划片主若是使用金刚石切割片。晶片概况要经由光刻、掺杂最终还经由金属化措置凡是这些加工都在绝对洁净的前提下在某种气体呵护下进行加工温度凡是约为1℃划片的制品在很年夜水平上取决于金刚石尖端的加工精度及其尖锐性的连结情形。该体例划硅片比划裂的制品高。内圆切割手艺利益在于:厚度差仅为1mm;()切片成本低,同规格的内圆切割片机价钱是线切割机价钱的1/--1/;()每片都可以进行晶向调整和切片厚度调整;()小批量多规格加工时,具有矫捷的可调性。 今朝,传统的金刚石切割片制造体例首要有热压法和电镀法粘附于电极上的微粒必需延续到跨越一按时刻才有可能被电沉积的金属捕捉。因为单一材料难以知足某些非凡要求近年来迅速兴起的复合镀层操作简单、易于节制、出产费用低、能耗少和原材料操作率斗劲高与热加工法对比复合镀层能在必然水平上赋予人们节制材料各方面机能的更年夜自动性11 按照所得功效,试验并制备出了金刚石切割片样件,证实了前述体例的可行性。为了使基体侵蚀后镀层能连结精采的力学机能,试验研究了电解液组成以及电流强度、极间电压与极间间距等工艺参数,总结了侵蚀速度与各参数之间的关系方程。这种体例划片切确,所以具有制品高的利益。当电镀层厚度达到要求后将阴极掏出溶液,清洗烘干后再将电镀层与阴极基板经由过程加热分手,然后用冲模冲制陋习格尺寸获得切割片产物。常见的电镀层一般是纯挚金属镀层,搜罗单一金属镀层和均相合金镀层,称为简单镀层。本体例的制造事理:用金属基板做阴极,电解镍板做阳极,将二极板放入含有金刚石磨料的电镀溶液中,并将阴极接直流电源的负极,阳极接直流电源的正极本新闻来源:
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