激光吧 关注:60,377贴子:84,112
  • 4回复贴,共1

晶圆划片机解决方案

只看楼主收藏回复

方案概述
定义
圆划片是半导体芯片制造工艺流程中的一道必不可少的工序,在晶圆制造中属后道工序。将做好芯片的整片晶圆按芯片大小分割成单一的芯片(晶粒),称之为晶圆划片。
目前在一种在半导体行业内称为 GPP (Glass passivation Process) 的工艺所生产的台面二极管、方片可控硅、触发管晶圆的划片中应用,与传统的划片工艺相比有较大优势,国内有很多家工厂生产这种工艺制造的 GPP 晶圆及其成品。出于对产品质量精益求精的高要求,多家工厂无论在产品研发、科学研究、质量管理等方面,都不断致力于寻求新的工艺以提高工作效率,从而为客户提供更高质量的产品。
方案推荐 刀片划片 原理 激光划片
在晶圆划片行业,主要有两种切割工艺,一个是传统的刀片切割,另一个新型的现代工艺激光划片。下面,将通过对比两种切割工艺,证明激光划片的优势。
刀片划片
  最早的晶圆是用划片系统进行划片(切割)的,现在这种方法仍然占据了世界芯片切割市场的较大份额,特别是在非集成电路晶圆划片领域。金刚石锯片(砂轮)划片方法是目前常见的晶圆划片方法。原理:当工作物是属于硬、脆的材质,钻石颗粒会以撞击(Fracturing)的方式,将工作物敲碎,再利用刀口将粉末移除。
存在的问题
● 刀片划片直接作用于晶圆表面,在晶体内部产生损伤,容易产生晶圆崩边及晶片破损;
● 刀片具有一定的厚度,导致刀具的划片线宽较大;
● 耗材大,刀片需每半个月更换一次;
● 环境污染大,切割后的硅粉水难处理。
激光划片
  由于激光在聚焦上的优点, 聚焦点可小到亚微米数量级, 从而对晶圆的微处理更具优势, 可以进行小部件的加工。即使在不高的脉冲能量水平下, 也能得到较高的能量密度, 有效地进行材料加工。激光划片属于非接触式加工,可以避免出现芯片破碎和其它损坏现象。
加工优势
● 激光划片采用的高光束质量的光纤激光器对芯片的电性影响小,可提高的划片成品率;
● 激光划片速度快,高达150mm/s;
● 激光可以对不同厚度的晶圆进行作业,具有更好的兼容性和通用性;
● 激光可以切割一些较复杂的晶圆芯片,如六边形管芯等;
● 激光划片不需要去离子水,不存在刀具磨损问题,并可连续24小时作业。

致力于为客户提供全套的解决方案。在分析了客户的工艺问题后,激光建议客户使用激光切割,激光切割是由激光束经透镜聚焦,在焦点处聚成一极小的光斑,可以达到几十微米最小几微米,将焦点调制到工件平面,当足够功率的光束照射到物体上时,光能迅速转换为热能,会产生10000°C以上的局部高温使工件瞬间熔化甚至汽化,从而将工件切割到我们需要的深度或者切透。
  通过对比 激光晶圆划片机和刀片机,得到以下数据:
应用于半导体制造行业单、双台面玻璃钝化二极管晶圆,单、双台面可控硅晶圆,IC晶圆切割等半导体晶圆片的切割划片。




1楼2017-07-21 14:48回复
    8寸片激光切割只有晶圆内接正方形区域可以切开,外围切不开是什么原因


    IP属地:上海2楼2017-10-22 14:45
    回复
      你好


      来自手机贴吧5楼2020-08-27 13:45
      回复
        晶圆切割机A-wD-200t报警655什么情况


        来自手机贴吧6楼2020-08-27 13:46
        回复
          每一种切割方式都有着自己的优势和劣势,互为依存相互补充,不可否认激光切割有着自己的一些优势,不过对于一些光热敏感的元件并不是最佳的选择


          IP属地:江苏来自Android客户端7楼2022-03-29 09:27
          回复